湿式塗布プロセスによる微粒子を含有した機能性薄膜の作製

摘要

様々な特性を有する粒子を粒子単体としてではなく薄膜の構成部材として用いることにより，多種多様な機能性薄膜が作製されている。 薄膜に機能性を付与するにあたって，薄膜表面に粒子を配置する場合と，別の材料と粒子との混合物を薄膜化する場合が考えられる。前者に関しては，CVDに代表される気相から薄膜土に粒子状の固体を析出させる乾式プロセスと，粒子懸濁液（サスペンジョン）を基板上に塗布·乾燥して薄膜を得る湿式プロセスに大別できる。 後者に関しては，混合物を塗布後，乾燥操作を含む熱処理や硬化処理によって薄膜が得られる。 本稿では，塗布プロセスを経てサスペンジョンから薄膜を得る湿式塗布プロセスを対象とし，薄膜中での粒子の凝集構造の予測や制御方法について述べる。