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机译:流动型原子层沉积反应器中二次反应引起的薄膜厚度分布
Epitaxy growth; Morphology; Precursor;
机译:流动型原子层沉积反应器中二次反应引起的薄膜厚度分布
机译:利用气相化学气相沉积技术,通过逐层控制原子薄的MoS2薄膜的厚度来进行快速晶圆级制造
机译:通过原子层沉积制备的未掺杂HFO2薄膜的膜厚度依赖性铁电偏振切换动力学
机译:使用顺序表面反应的薄膜原子层沉积
机译:研究硅衬底上的氧化物,硅化物和氮化物薄膜原子层沉积中的初始表面反应。
机译:膜厚对原子层沉积超薄TiO2薄膜气敏特性的影响
机译:膜厚度对原子层沉积沉积的超薄TiO2薄膜气体传感性能的影响