机译:一种静电驱动的悬臂装置,能够准确地校准片上悬臂,以用于类似AFM的应用
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机译:简单而准确的解析解决方案,用于静电驱动的MEMS卷曲悬臂的屈曲后响应
机译:微电平静电驱动悬臂和金属接触基于多频段应用的RF MEMS开关
机译:静电梳驱动致动器阵列,具有集成悬臂,用于扫描探头应用
机译:静电驱动的悬臂梁的二次共振
机译:静电驱动的悬臂
机译:静电驱动悬臂梁拉伸电压的封闭式模型及悬臂和微臂的比较分析
机译:确定悬臂梁粘附力的精确方法;应用物理学报