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机译:平面光栅尺间距偏差和平面度的快速评估方法
Measurement; Optical; Interferometry;
机译:平面光栅尺间距偏差和平面度的快速评估方法
机译:技术设计说明:使用蒙特卡洛方法通过光学衍射评估光栅间距中的不确定度
机译:基于线边缘粗糙度分析的纳米光栅间距评估方法的优化
机译:线性测量的尺度,俯仰和偏航偏差的识别方法
机译:用于光刻的DUV和EUV光掩模中非平面相和多层缺陷的快速仿真方法。
机译:模拟标记放置偏差对运动学的影响以及基于形态学的放置反馈方法的评估
机译:相关和卷积滤波及图像处理,用于二维微纳尺度光栅和晶格的基音评估
机译:用于LpC和谐波偏差声码器的音高提取器的主观和客观评估