第68回 VLSI FORUM誌上報告－65～45nm時代の半導体製造装置最新技術

摘要

座長に東京農工大学名誉教授·武田計測先端知財団常任理事の垂井康夫氏，座長補佐に武田計測先端知財団プログラムオフィサーの溝渕裕三氏を迎えた第68 回VLSI Forumが04年11月11日東京·港区の笹川記念会館で開催された。 「65～45nm時代の半導体製造装置最新技術」をテーマとした今回のフォーラムでは，企業の最先端で装置の開発を担う各講師による微細化への取り組みが発表された。