パルスレーザー堆積法により作製した耐熱特性を有する酸化亜鉛上のアンチモンドープ酸化スズ積層型透明導電膜の電気的・光学的特性

摘要

It is the purpose of this report to fabricate transparent conducting multilayered films with anti-heat properties using ZnO as the chief ingredient. The multilayered films are composed of ATO (1.0 wt.% Sb_2O_3 doped tin oxide)/AZO (1.5 wt.% A1_2O_3 doped zinc oxide) structure. After the fabrication process, a test of anti-heat properties was carried out at 500℃ for 24 hours. Electrical and optical properties were compared before or after the test of anti-heat properties. In this report, favorable experimental results are described.%PLD法でATO／ZnO系積層型透明導電膜を成膜した結果，以下の結果が得られた．1）ATOの膜厚が30nmの場合，大気圧中5000cq）条件下で抵抗率を1.69×10~(-4)（n・Cm）から3.36×10~(-4)（n・cm）と低抵抗率な値を保つことができることがわかった.2）光学特性ではATOの膜厚を100nmにした場合に可視光領域で透過率の減少が見られた．