КОММЕНТАРИЙ К ПРОГРАММЕ КОМПЬЮТЕРНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ SRIM

摘要

Программа компьютерного моделирования SRIM, в отличие от других известных программ (MARLOWE, TRIM.SP и др.), предсказывает ненулевые значения коэффициента распыления при скользящих углах падения ионов на гладкую аморфную мишень. Чтобы понять причину этого и других расхождений, в данной работе проведено моделирование распыления аморфного германия различными ионами с использованием программы OKSANA. Показано, что SRIM не вполне корректно моделирует начальную стадию распылительного процесса, а именно вход ионов в мишень.