枚葉式高電流イオン注入装置SHX-Ⅲ

摘要

本装置は，世界初のビームスキャンおよびメカニカルスキrnャンを組み合わせた枝葉式高電流イオン注入装置「SHX」rnの第3世代機に当たる。SHXに対してビーム電流を飛躍的rnに増大させて高ドーズ工程での生産性を大幅に向上させたrnSHX-Ⅲをベースに，さらに搬送機構の見直しによってメカrnニカルスループットを大幅に改善し，中ドーズ量以下の生産rn工程での価値も高めたものである。