CIGS太陽電池用スパッタリング成膜装置

摘要

本装置は，CIGS（CuIn_((1-x))Ga_xSe_2）化合物半導体薄膜型太陽rn電池Mo裏面電極用スパッタリング成膜装置である。rn本装置へ求められる機能は，ガラス基板との良好な密着性rn能，電極としての低い抵抗率，およびレーザ光を照射してrnMo膜を除去する方法による良好なパターニング性能である。