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机译:基于灰度关系分析的12英寸晶圆大面积,基于挠曲的XY0掩模对准台的优化设计
Hanyang Univ, Dept Mech Engn, 55 Hanyangdaehak Ro, Ansan 15588, Gyeonggi Do, South Korea;
Hanyang Univ, Dept Mech Engn, 55 Hanyangdaehak Ro, Ansan 15588, Gyeonggi Do, South Korea;
Philoptics Co Ltd, 17 Saneop Ro 156beon Gil, Suwon 16648, Gyeonggi Do, South Korea;
Hanyang Univ, Dept Mech Engn, 55 Hanyangdaehak Ro, Ansan 15588, Gyeonggi Do, South Korea;
Micropositioning stage; Flexure mechanism; Grey relation analysis; Optimum design; Multiple objective functions;
机译:大面积的最佳设计,基于弯曲的XY0掩模对准阶段,用于12英寸晶片使用灰色关系分析
机译:基于挠性铰链的XYθ晶圆台的优化设计
机译:使用灰白色耦合响应表面方法和熵测量的混合方法二进制基于二进制挠性机理的多目标优化设计
机译:基于挠性结构的微/纳米定位阶段的优化设计
机译:单轴挠曲铰链式微定位平台的设计和建模。
机译:面具短缺期间的最后一个度假略有策略:在Covid-19大流行期间布料面罩的最佳设计特征以及一次性面罩的净化
机译:用于卷对卷印刷电子的新型基于5自由度弯曲的复合对准平台的设计
机译:近距离印刷中掩模/晶圆对准的实用干涉技术