イオンマイクレーション

摘要

金属の端子間に電圧を印加したときに、陽極側の金属がrnイオン化し電極間を移動し、陰極側で電子を受けて金属とrnして析出する現象である。陰極側に析出した金属が樹枝状rn（デンドライトと呼ばれる）に成長し、端子間リーク電流rnの増加等による故障が発生する。高密度化が進む半導体実rn装技術では、重要なテーマとなっている。