ナノサイズの薄膜多結晶トランジスタ性能と結晶性の関係を可視化東芝が評価技術開発

摘要

東芝はナノサイズの薄膜多結晶シリコントランジスタで、電子の伝導を担うチャネル部の性能と結晶性の関係を可視化する評価技術を開発した。これにより、電子デバイス中の多結晶シリコントランジスタの電気特性と結晶性との関係を直接評価し、電気特性の劣化要因を特定できる。