物質·材料研究機構単結晶ダイャモンドMEMS センサーチップ開発

摘要

物質·材料研究機構(NIMS)は、室温で世界最高レベルの高品質因子(Q値=感度を表す品質の指標)を持つダイヤモンド力ンチレパーおよび世界初の電気信号による駆動と、センシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMSセンサーチップの開発に成功した。同成果は、既存のシリコン製MEMSの感度や信頼性を大幅に向上させるダイヤモンドMEMSという新しい分野を開く成果として期待される。