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机译:基于DMD的无掩模光刻中Dammann光栅的快速原型设计
Guangdong Univ Technol Sch Phys & Optoelect Engn Guangzhou 510006 Guangdong Peoples R China;
Maskless lithography; rapid prototyping; micro-structure; binary optical element; Dammann grating;
机译:在基于DMD的无掩模光刻中提高MOE的成像质量
机译:无掩模光刻技术在实验室中用于微流控设备快速且经济高效的原型设计的研究
机译:基于灰度光刻的圆形达曼光栅的设计,制造与表征
机译:基于DMD的无掩模光刻技术快速制造微光学元件
机译:无掩模微离子束还原光刻系统原型的实验演示。
机译:在非洁净室环境中使用干膜光刻胶对用于微流控设备的软光刻母版进行快速原型制作
机译:基于DMD的无掩模光刻中的DAMMann光栅的快速原型设计