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机译:弧形行列寻址电容式微加工超声换能器阵列的制作
Advanced Micro-/Nano-Devices Laboratory, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada;
Curved Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (CMUT); crossed-electrode; flexible CMUT; flexible microelectromechanical systems (MEMS); row-column; top orthogonal to bottom electrode (TOBE);
机译:玻璃基板上的行柱(RC)寻址的2-D电容微机械超声换能器(CMUT)阵列
机译:一个32 x 32元素行列寻址电容式微加工超声换能器
机译:行列寻址的微加工超声换能器阵列,用于表面扫描应用
机译:在玻璃基板上的行列(RC)寻址2D电容式微机械超声换能器(CMUT)阵列:初步结果
机译:用于血流超声多普勒和光声成像应用的电容式微加工超声换能器阵列。
机译:使用玻璃回流工艺制造真空密封的电容式微机械超声换能器阵列。
机译:用于医学成像的行列电容式微超声传感器
机译:DC-GHz微机械电容式空气传感器