机译:使用玻璃回流工艺制造真空密封的电容式微机械超声换能器阵列。
机译:使用阳极键合的玻璃通孔互连的真空密封电容式微超声传感器的制造
机译:使用阳极键合制造真空密封电容式微加工超声换能器的三掩模工艺
机译:利用玻璃回流工艺和阳极键合制造电容式微机械超声换能器阵列
机译:电容式微机械超声波换能器(CMUT)在下一代医学成像和超越的玻璃基板上
机译:低温晶片直接键合的电容式微机械超声换能器的制备与表征
机译:用玻璃回流工艺制作真空密封电容微机械超声换能器阵列
机译:DC-GHz微机械电容式空气传感器