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机译:使用阳极键合的玻璃通孔互连的真空密封电容式微超声传感器的制造
Department of Electrical and Computer Engineering, North Carolina State University, Raleigh, NC, USA;
Department of Electrical and Electronics Engineering, Istanbul Medipol University, Istanbul, Turkey;
Department of Electrical and Computer Engineering, North Carolina State University, Raleigh, NC, USA;
Glass; Substrates; Electrodes; Surface treatment; Integrated circuit interconnections; Bonding;
机译:使用阳极键合制造真空密封电容式微加工超声换能器的三掩模工艺
机译:使用玻璃回流工艺制造真空密封的电容式微机械超声换能器阵列。
机译:使用SOI晶圆进行阳极键合以制造电容式微加工超声换能器
机译:具有玻璃通孔互连的电容式微加工超声换能器的制造
机译:具有晶圆互连的电容式微加工超声换能器。
机译:使用玻璃回流工艺制造真空密封的电容式微机械超声换能器阵列。
机译:用玻璃回流工艺制作真空密封电容微机械超声换能器阵列
机译:DC-GHz微机械电容式空气传感器