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Neue Sensortechnologie zur Messung niedrigster Differenzdrücke

机译:新型传感器技术可测量最低压差

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摘要

Sensortechnics' neue LBA-Sensoren messen niedrigste Differenzdrücke in Bereichen von 250 und 500 Pa Messbereichsendwert. Durch eine vollst?ndig analoge CMOS-Signalaufbereitung bieten die Sensoren lineare und temperaturkompensierte Ausqanqssiqnale mit einer hohen Aufl?sung von typ. 0,1 % und sehr schnelle Reaktionszeiten von typ. 1 ms. Die Sensoren basieren auf der thermischen Massendurchfluss-messung von Gas durch einen sehr kleinen, im Sensor-Chip integrierten Str?mungskanal und bieten eine sehr hohe Empfindlichkeit und Offset-Stabilit?t.
机译:Sensortechnics的新型LBA传感器可测量250至500 Pa满量程范围内的最低压差。借助完全模拟的CMOS信号处理,这些传感器可提供线性和温度补偿信号,分辨率通常为0.1%,响应时间非常快,通常为1 ms。传感器基于通过集成在传感器芯片中的非常小的流动通道的气体热质量流量测量,并具有很高的灵敏度和偏移稳定性。

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  • 来源
    《Elektro Forum》 |2010年第7期|P.45|共1页
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