無機材料プロセッシング

摘要

セラミックスの焼結や接合，無機閲相合成，水熱?ソルポサrnーマル合成，薄膜結晶化プロセスなど，無機材料プロセッシンrnグにおける「マイクロ波加熱」は近年急速に関心が高まりつつrnある分野である。マイクロ波は電波と呼ばれる電磁波の中で，rn周波数300MHz（波長1m）～300GHz（波長1mm）のもののrn総称であり，さまざまな周波数帯域のマイクロ波エネルギーーがrn加熱用途に用いられている。電子レンシ’はマグネトロン管によrnり発振される2.45GHz（波長122mm）のマイクロ波を利鞘したrnものである。