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反应离子刻蚀技术在半导体材料加工的工艺探讨及基于微纳加工技术的太赫兹超材料调制器件的研发

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作者
杨栋勋;
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作者单位

天津大学;

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授予单位天津大学;
学科材料物理与化学
授予学位硕士
导师姓名马雷;
年度 2020
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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O48TN3;
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