バス配線における誘導性クロストークノイズによる遅延変動の実測とノイズ重ね合わせ効果の検証

摘要

Inductive coupling is becoming a design concern for global interconnects in nano-meter technologies. This paper measures the interconnect delay variation due to inductive coupling noise in a 90nm technology. Superposition of noise effect from many aggressors, and cancellation due to opposite noise effects are verified based on measurement results. Measurement result also indicates that delay variation due to many aggressors can be approximated with summation of delay variation due to each individual aggressor.%誘導性クロストークノイズはナノメートル世代のグローバル配線設計において問題となりつつある．本稿では誘導性クロストークノイズによる配線の遅延変動を90nmプロセスで試作したテストチップで実測した結果を報告する．測定結果に基づき，誘導性クロストークノイズの特性として，重ね合わせ効果，および重ね合わせによるノイズの打ち消しの効果について検証する．さらに，複数の攻撃配線による遅延変動が個々の攻撃配線による遅延変動の総和によって近似可能であることを示す．