開放故障に伴う不安定論理の固定化: 簡易な故障診断技術を目指して

摘要

An experiment for stabilization of output logic brought by floating gate fault with unsuitable electric value has been executed. The method is the way to apply outside impulse to LSI with gate open fault. The impulses are laser irradiation and electric field impression. The experimental result is that the former impulse brings stabilization of output logic value, regardless of a couple of electrical features brought by gate floating state, and the latter brings the change of electric value wrapped over electric property of floating gate. These phenomenon are applied to detect fault portion with gate open, and to assist fault diagnosis. For the fault diagnosis technology based on transistor level, the stabilized logic value is embedded in fault circuit and high accuracy candidate fault portions are detected.%不安定な出力論理を有するフローティングゲート故障に対して、出力論理値を固定化する実験を行った。実験はゲートオープン故障を作り込んだサンプルに対して、外部から刺激を印加する方式である。刺激はレーザ照射と電界印加である。電気的特性をモニタしながらその効果を調べた。その結果、前者はフローテング状態による種々の特性に関わりなく出力電圧値をHに固定化できた。後者はフローテング状態の電気的特性に重畳した特性として確認できた。これらの現象はゲートオープン故障箇所の特定や故障診断へのアシストとして適用できる。セル内故障診断において、論理固定化したモデルを回路に埋め込むことで確度の高い故障候補を特定できる。