机译:半导体制造过程控制中的反馈变量选择方法论-第1部分:分析和仿真结果
Feedback control; Feedback variable selection; Semiconductor process model; Simulation; Variance reduction;
机译:用于控制半导体制造过程的反馈变量选择方法论-第1部分:分析和模拟结果
机译:半导体制造过程控制中的反馈变量选择方法论-第2部分:反应性离子蚀刻的应用
机译:用于控制半导体制造过程的反馈变量选择方法论-第2部分:在反应性离子蚀刻中的应用
机译:用于制造过程控制的实时反馈变量选择方法:理论和仿真结果
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