大気圧プラズマCVDによる高ガスバリアDLC薄膜の合成

摘要

大気圧プラズマ法は，従来真空下でプラズマ処理していた薄膜被覆を大気圧下で実現させる技術である。高価なポンプや大きなチャンバを必要としないため，低コスト化や大面積化が可能となり，実用化への取り組みが世界各国で活発に進められている。本稿では，上記方法を用い，プラスチックフィルムに対し，材料面および装置面からアプローチし，低コストで，しかも大型製品などへDLCを高速被覆する可能性について述べる。