机译:双轴大体积微机械共振加速度计的非共面共振梁和蟹腿支撑梁的微细加工技术
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机译:无掩膜各向异性湿法刻蚀同时形成块状微加工共振加速度计的非共面共振梁和支撑梁
机译:具有掩膜式无掩膜蚀刻的低交叉轴灵敏度的双轴大体积微机械谐振加速度计
机译:一种新型微机器外谐振加速度,具有不同高度共振梁的差动结构
机译:微机械动态共振梁科里奥利真质量流量计的可行性研究。
机译:电磁激发氮化硅束共振加速度计
机译:用于混凝土SHM的大体积微机械压阻MEMS加速度计的计算机辅助设计和束流布置的影响
机译:表面微机械加工的共振加速度计