Accelerometers; Design; Machining; Miniaturization; Performance Testing; Resonators; Meetings;
机译:TPMS(轮胎压力监测系统)传感器:表面微机械压阻式压力传感器和可自测加速度计的单片集成
机译:减少集成表面微机械加速度计中的缺陷
机译:多晶硅工艺开发,用于带有CMOS电子器件的全集成式表面微机械加速度计
机译:表面微机械共振加速度计
机译:静电,表面微机械加工的多晶硅微致动器的设计,制造,位置感测和控制。
机译:基于MEMS共振加速度计的不确定性分析的非线性振动研究
机译:表面微机械谐振加速度计