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机译:干法刻蚀在蓝宝石和硅衬底上制备GaN纳米结构
机译:用于在GaN(0001)衬底上制造量子纳米结构的AlGaN / GaN的ECR干蚀刻和选择性MBE生长的研究
机译:通过RIE干蚀刻和KOH湿蚀刻技术结合沿<1120>方向制造GaN基条纹结构,以恢复干蚀刻损伤
机译:蓝宝石衬底表面上高密度纳米坑的形成化学以及被腐蚀衬底上器件质量的GaN膜的原位腐蚀和生长机理
机译:通过化学湿法蚀刻图案 - 蓝宝石 - 衬底(CWE-PSS)同时增强GaN基发光二极管的内部和提取效率
机译:GaN纳米线制造和单光子发射器装置应用的蚀刻工艺
机译:通过无掩模化学刻蚀制备的涂有银纳米颗粒的蓝宝石图案衬底上的GaN基发光二极管的性能
机译:用于在GaN(0001)衬底上制造量子纳米结构的AlGaN / GaN的ECR干蚀刻和选择性MBE生长的研究