机译:In0.53Ga0.47As / Al2O3薄膜系统中As和Ga扩散的硬X射线光电子能谱研究
National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, Maryland 20899, USA;
机译:In_(0.53)Ga_(0.47)As / Al_2O_3薄膜系统中As和Ga扩散的硬X射线光电子能谱研究
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机译:金属/Al2O3/In0.53Ga0.47As电容器结构的组合电容-电压和硬X射线光电子能谱表征