X射线光电子能谱在薄膜材料分析中的应用

摘要

薄膜材料一直是材料研究中的热点。与体材料不同，薄膜材料的检测需要应用到表面分析技术。X射线光电子能谱(XPS)在分析薄膜化学组分及其分布中有着重要的、不可替代的应用。本文简要介绍了XPS在碳纳米复合膜、离子注入掺杂非晶碳膜、硅片表面超薄氧化膜等研究中的常规应用。