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Analysis of Post-Deposition Recrystallization Processing via Indium Bromide of Cu(InGa)Se2 Thin Films

机译:Cu(Ga)Se2薄膜铟溴化铟溴化铟脱沉铬酸盐后重结晶处理分析

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摘要

Cu(In,Ga)Se2 (CIGS) thin films were deposited at low temperature (350 °C) and high rate (10 µm/h) by a single stage process. The effect of post-deposition treatments at 400 °C and 500 °C by indium bromide vapor were studied and compared to the effect of a simple annealing under selenium. Structural, electrical, and chemical analyses demonstrate that there is a drastic difference between the different types of annealing, with the ones under indium bromide leading to much larger grains and higher conductivity. These properties are associated with a modification of the elemental profiles, specifically for gallium and sodium.
机译:通过单阶段方法在低温(350℃)和高速(10μm/ h)下沉积Cu(in,ga)Se2(CIGS)薄膜。研究了沉积后处理在400℃和500℃下进行溴化铟蒸气的影响,并与硒下简单退火的效果相比。结构,电气和化学分析表明,不同类型的退火之间存在着剧烈差异,其中溴化铟下的溴化铟处于较大的颗粒和更高的导电性。这些性质与元素谱的修饰相关,专门用于镓和钠。

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