机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:用于极端紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体辐射辐射致氢等离子体中的电子密度和温度的时间分辨空间曲线
机译:使用集体激光器汤姆森散射的离子特征来时分 - 激光产生的碳等离子体的电子密度,电子温度和漂移速度的时间分辨二维测量
机译:激光生产的基于等离子体的极紫外光源技术,用于大批量制造极紫外光刻
机译:光学测量激光产生的等离子体的电子密度模拟高温SF {Sub} 6气体淬火
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:极紫外时间分辨光电子能谱探测锥形相交动力学和基态化学
机译:密度略有空心的等离子体中电子温度梯度不稳定性的运动学研究
机译:激光产生的等离子体的时间分辨极紫外光谱,源自微球目标的聚对二甲苯层。最终报告,1989年12月13日至1991年2月13日。