机译:在未经修改的商业MEMS工艺中制造晶圆级真空封装电容式加速度计
机译:晶圆级真空封装的三轴加速度计,在商用MEMS工艺中具有较低的横轴灵敏度
机译:以商用MEMS工艺制造的晶圆级真空封装呼吸模式环形谐振器
机译:利用商业MEMS工艺设计和分析晶圆级真空封装的磁盘谐振器陀螺仪
机译:晶圆级封装的高性能MEMS可调无源和带通滤波器
机译:溅射封装作为可隔离MEMS器件的晶圆级封装:电容式加速度计上展示的一项技术
机译:在未经修改的商用mEms工艺中制造的晶圆级真空封装电容式加速度计