退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
柴常春; 杨银堂; 李跃进; 贾护军;
西安电子科技大学微电子研究所,;
SiC薄膜; 等离子体刻蚀(PE); 刻蚀气体;
机译:Si衬底上生长的β-SiC薄膜的等离子体刻蚀研究
机译:等离子体刻蚀中基于修正主成分分析的等离子体刻蚀中小面积暴露SiO_2薄膜的实时终点检测
机译:刻蚀气体对纳米尺寸图形多晶硅薄膜高密度等离子体刻蚀的影响
机译:外延等离子体刻蚀技术用于高长宽比3D NAND存储器中硅的选择性外延生长
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:六氟化硫气体和后退火处理对电感耦合等离子体刻蚀钛酸钡薄膜的影响
机译:在未掺杂的同质外延金刚石薄膜缺陷分析和激子扩散后抛光和氧等离子体刻蚀
机译:氟化气体与氧气混合物对siC薄膜的反应离子刻蚀
机译:在具有时间调制的不同径向气体注入区域中,使用具有不同刻蚀的聚合刻蚀气体和聚合物沉积速率的等离子体刻蚀过程
机译:等离子体刻蚀装置的电极中引入气体的测量方法,电极,电极再生方法,再生电极,等离子体刻蚀器中的气体以及引入孔态分布图的气体及其显示方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。