高能束焊接技术在电真空器件制造工艺中的应用与发展

摘要

高能束焊是制造电真空器件的关键工艺技术,工艺参数的确定直接影响电真空器件的质量可靠性.文中结合两类重要的电真空器件(行波管和速调管)的技术特点,简要介绍了高能束焊接技术(激光焊和电子束焊)在电真空器件制造过程中的应用情况,并给出了一些具体的应用实例,对激光焊和电子束焊的特点和适用性进行了比较.最后就高能束焊的技术特点和发展情况,对其今后在电真空器件制造领域的应用前景进行了展望.