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超声波清洗技术在等离子体显示器件基板上的应用

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摘要

通过对超声波清洗技术的理论分析以及实际工艺操作结果分析,与以往传统的清洗方式做一比较,说明了在清除微细污染物方面,超声波清洗技术在等离子体显示器件障壁基板清洗方面的优越性.

著录项

来源
《真空电子技术》 |2003年第2期|66-67|共2页
作者
赵志明;
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作者单位

西安交通大学电信学院,陕西,西安,710049;

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正文语种 chi
中图分类等离子体显示器件;
关键词
超声波; 等离子体显示器件; 清洗;

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