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单亚蒙; 任丽江; 沈文江;
中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院 安徽合肥230026;
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室 江苏苏州215123;
西安交通大学电子科学与工程学院 陕西西安710049;
微机电系统; 静电驱动; 电隔离槽; 微机电系统(MEMS)激光雷达;
机译:具有Z轴位移补偿的二维静电扭转微镜的设计方法
机译:体微加工二维静电扭转微镜的设计方法
机译:带有电容感应的静电驱动二维微扫描镜,用于投影显示
机译:二维静电热敏微镜的设计
机译:静电致动MEMS微镜用于光检测和测距的设计与建模
机译:用于二维光栅扫描的静电梳理MEMS扫描镜的开发
机译:设计因素和环境对MEMS微镜静电放电灵敏度的影响
机译:产生1.54(微)m辐射应用于人眼安全激光激光雷达
机译:具有静电控制的微关闭器的微镜,微镜装置和具有这种装置的红外分光光度计
机译:具有静电控制的微快门的微镜,微镜矩阵和包括所述矩阵的红外分光光度计
机译:具有静电控制的微快门的微镜,微镜阵列和包括所述阵列的红外分光光度计
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