静电致动扭转微镜气膜阻尼分析与设计

摘要

优化设计气膜阻尼是提高静电驱动扭转微镜系统工作效率的有效途径。推导了微镜气膜阻尼扭矩和静电力扭矩计算公式，建立了静电驱动扭转微镜的系统动力学方程。在不改变系统的固有频率基础上，以系统响应的调整时间最短为目标，通过调整微镜支撑高度来优化气膜阻尼。数值仿真结果显示，当阻尼比达到0.6～0.8之间，响应的调整时间最短。