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黄晶;
中芯国际集成电路制造 天津 有限公司;
天津 300385;
多晶硅; 刻蚀; 研究;
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机译:刻蚀时间对刻蚀多晶硅晶片上硅纳米线阵列的形貌,光学和结构性能的影响
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