首页> 中文期刊> 《中国工程科学》 >旋转体自身驱动的硅微机械陀螺

旋转体自身驱动的硅微机械陀螺

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力,通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺.介绍了该陀螺敏感结构(硅摆)的设计、制作与封装工艺,用仿真器测试了旋转体的角速率.模拟试验和性能测试表明,该陀螺结构原理正确,可用于敏感旋转体的偏航或俯仰角速度,以及旋转体自身的角速度.

著录项

来源
《中国工程科学》 |2006年第8期|23-27|共5页
作者
张福学; 毛旭; 张伟;
展开▼
作者单位

北京信息工程学院传感技术研究中心,北京,100101;

北京信息工程学院传感技术研究中心,北京,100101;

北京信息工程学院传感技术研究中心,北京,100101;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.1;
关键词
硅; 各向异性腐蚀; 角速度; 仿真器;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 硅微机械陀螺驱动方式研究 [J] . 许友平 ,章晓春 . 科技视界 . 2018,第024期
2. 无驱动结构硅微机械陀螺芯片的离子刻蚀技术 [J] . 乔瑾 ,张伟 ,岳萍 . 北京信息科技大学学报（自然科学版） . 2015,第003期
3. 旋转载体驱动硅微机械陀螺幅频特性 [J] . 张增平 ,张福学 ,高银娟 . 中国惯性技术学报 . 2013,第002期
4. 基于相位控制的硅微机械陀螺驱动控制技术 [J] . 罗兵 ,王安成 ,吴美平 . 自动化学报 . 2012,第002期
5. 无驱动结构硅微机械陀螺冲击响应信号分析 [J] . 严庆文 ,张福学 ,刘宇 . 中国惯性技术学报 . 2012,第005期
6. 无驱动结构硅微机械陀螺的电路设计 [C] . 高银娟 ,张福学 ,张增平 . 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议 . 2012
7. 无驱动结构硅微机械陀螺姿态解算研究 [A] . 张宁 . 2015

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号