硅中掺杂元素砷的三维微分析

摘要

利用同步辐射Ｘ光微区分析和全反射Ｘ射线荧光分析技术测定了硅中掺杂元素砷浓度的三维分布，其中深度剖面分布的测定结果与二次离子质谱进行了对照，两者的一致性是比较满意的。