对超声波作用下的化学浴沉积方法制备CdS薄膜的谱学分析

摘要

用化学浴沉积法制备了CdS薄膜, 并研究了加超声波对CdS薄膜生长过程的影响. 利用卢瑟福背散射, X-射线粉末衍射和扫描电子显微镜对薄膜的厚度、晶相和表面形貌进行了表征. 结果表明施加超声波的作用能有效地改善薄膜的质量, 制备出均匀、致密的有较好的晶体结构CdS薄膜. 同时, 通过时间的控制可以精确地控制薄膜在50 nm左右, 以满足制备太阳能电池的特殊要求.