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南开大学物理系光学教研室、半导体教研室;
激光退火; 离子注入; CO2; 红宝石激光器; 氩离子激光器; 钕玻璃激光器; 半导体材料; 硅; 国内外;
机译:离子注入硅的连续红外激光退火
机译:局域CO2激光退火诱导的含硅纳米晶的富硅二氧化硅薄膜的脱氢/烧蚀和光学细化
机译:离子注入硅激光退火过程中{001}环的异常产生
机译:采用选择性硅离子注入和准分子激光退火的晶界可控多晶硅TFT工艺
机译:离子注入硅的激光退火。
机译:在原硅酸钇块状晶体和离子注入平面波导中可见到近红外超连续谱
机译:重掺杂离子注入激光退火硅的电子结构:椭圆测量
机译:脉冲CO sub 2离子注入硅的激光退火
机译:使用溅射金属沉积,金属离子注入或硅注入以及激光退火为CMOS器件生产双栅极(一种金属和一种多晶硅或金属硅化物)的方法
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