高能粒子辐射掺锗直拉硅中锗对空位,间隙原子运动的影响

摘要

高能粒子辐射掺锗直拉硅中锗可以在硅的晶格结构中产生膨胀场，其引起的附加势能使邻近的空位、间隙原子的周期性的运动势场发生变化，从而锗作为湮灭中心，增大了空位与间隙原子的复合率。