基于TiO2/PMMA复合绝缘层的并五苯场效应晶体管研究

摘要

cqvip:当前制备高性能、柔性半导体器件已成为光电子领域的热门研究,将高介电常数的无机材料与易成膜、柔性好的有机材料相结合制备高电容率绝缘层,是提升有机场效应晶体管性能的有效途径之一。本文采用简便的旋涂法制备了二氧化钛(TiO2)与聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的复合绝缘薄膜,介电常数相对纯PMMA薄膜有所提升,将其作为场效应晶体管的绝缘层,加之并五苯作为有源层,得到了低制备成本,高载流子迁移率,且具可柔性加工潜质的有机场效应晶体管。