基于胶体晶体模板的表面图案化构建及其应用进展

摘要

在基材上将不同的纳米构件,如纳米点、纳米柱、纳米管、纳米球等图案化的过程是制作实用器件的先期必备步骤。常见的构建方法有光刻方法、纳米压印和铸模成型工艺、扫描探针显微镜(SPM)写入技术及模板法。模板法最吸引人的地方在于可以将模板的结构特征转移到基板表面,从而获得与模板具有相似形貌的表面图案。与光刻法(尤其是电子束和聚焦离子束刻蚀)和SPM相比,模板法适合于制造大规模有序表面结构阵列,省时且设备成本低。本文主要介绍基于PS、SiO2等微球模板的表面图案化技术,并对近年来各类图案化器件在分析化学上的应用进行了回顾。