电子背散射衍射技术及其在材料分析中的应用

摘要

较详细地阐明了电子背散射衍射技术(EBSD)的基本原理、实验分析方法。通过安装在场发射扫描电子显微镜上的电子背散射衍射系统,可以对块状样品进行材料微区范围内取向与结构的快速分析,使显微组织、微区成分与结晶学数据分析联系起来,电子背散射衍射技术成为现代材料科学研究的重要实验技术。