SEM—EPMA中电磁物镜工作距离的计算

摘要

工作距离１和象差系数Ｃｓ、Ｃｃ之比１／Ｃｓ、１／Ｃｃ是设计和实验工作者经常用到的。本文推导了１／Ｃｓ、１／Ｃｃ的表达式，讨论了物镜有限缩小倍数Ｍ对它们的影响，计算了几种透镜几何参数下它们的数值并绘成曲线。