热流逸效应下微通道纵剖面形状对流量的影响

摘要

通过建立描述热流逸效应作用下微通道内流量的数学模型,研究了6种气体在3种不同纵剖面形状微通道内的流量特性.计算结果表明,由于气体性质和微通道形状的影响,各气体净质量流量沿微通道长度(L)方向的变化有所不同.当L=0和L=9.6×10-6 m时,各气体净质量流量相差不大;当L=4.8×10-6 m时,各气体净质量流量均达到最大值,且相差较大.通过对流量特性的研究,明确了微通道形状变化对气体净质量流量的影响较大,气体性质的影响次之.