单晶硅纳米加工技术在津取得新进展

摘要

天津大学微纳制造实验室自主研制开发的单晶硅纳米加工技术经国际生产工程科学院比对、测量全部达标，并进入国际精密制造技术评审榜单前两名，获得国家自然科学基金“纳米制造的基础研究”重点支持项目的资助。