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高文秀; 刘继伟; 高鹏; 郭先清;
厦门大学纳米科技中心,福建,厦门,361005;
硅量子点; LPCVD; 自组织形成; 悬浮栅极; MOS单元;
机译:硅上硅:在反应性Ar + H-2等离子体中形成的自组织纳米尖端阵列
机译:使用自组织金属氧化物纳米柱掩模的干法刻蚀形成硅纳米结构。
机译:通过等离子增强化学气相沉积法控制工艺气体的氩气稀释,在非晶碳化硅中形成纳米晶硅和硅量子点
机译:硅量子点光催化剂(IV)的氢形成:硅量子点 - 铂纳米粒子复合光电电极
机译:通过点接触反应,纳米硅器件的镍硅/硅/硅镍和铂硅/硅/铂硅纳米线异质结构形成纳米硅化物。
机译:在光生层中包括硅纳米晶体的硅量子点超晶格太阳能电池结构
机译:深紫外激光诱导通过纳米粒子的自组织形成的硅形成周期性表面结构
机译:硅量子点中量子效应的纳米研究
机译:以金属纳米簇为掩模形成半导体器件量子点的方法,用于形成规则的精细和均匀的硅量子点
机译:形成硅量子点的方法和制造半导体存储器的方法,使用相同的方法形成具有单个晶体特征和统一特征的硅量子点
机译:形成纳米晶体硅量子点存储器件的方法
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